Offerta di tecnologia
Plasma omogeneo a basso costo per semiconduttori
Abstract
Università tedesca propone una soluzione flessibile per migliorare l’omogeneità del plasma nelle camere di processo, tramite elettrodo ad anello controllabile. Tecnologia pensata per retrofit economico in ambienti semiconduttori, display e fotovoltaico. Si cercano partner per cooperazione in R&D.
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